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當前位置：首頁 >產品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂儀>HC160PE精密勻膠機
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產品特色
? 設計緊湊，可放置在手套箱內；
? 4.3英寸彩色觸屏控制，人機界面；
? 一體加工成型的HDPE內腔，耐腐蝕，易清潔；內腔壁采用凹面設計，有效防濺；
? 高級PLC全自動程序控制，可編程；
? 帶真空度安全互鎖檢測功能；帶蓋子安全互鎖檢測功能；
? 具有電機進膠保護功能；管路易疏通設計；具有真空不足提示及保護功能，具有斷電后參數自動保存功能。
? 不銹鋼外殼，美觀耐腐蝕；
? 帶一路自動點膠接口，可升級自動點膠系統；
? 可設置用戶密碼保護功能；
? 配置可調基座，方便調節水平；
性能參數
? 適用晶元尺寸范圍：?5~160mm；
? 旋涂速度：100~12000rpm；轉速分辨率：1rpm；
? 旋涂加速度：100-30000rpm/s；
? 最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；
? 內腔直徑220mm，內腔壁采用凹面防濺設計；
? 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；
? 電源輸入：AC200-230V；
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